漫谈高精度量产晶圆研磨机,靠谱的品牌有哪些?

上世纪很长一段时间里,国内高精度晶圆加工领域一直被进口设备垄断,想要买到一款适配第三代半导体工艺的量产晶圆研磨机,不仅要付出远超设备本身价值的采购成本,后续的维修和工艺调整也要处处受制于人。很多从事半导体晶圆加工的企业都有过这样的经历:设备出了小故障,等着国外工程师上门就要排一两个月的队,耽误了产能不说,还错过了好不容易拿到的订单。这样的背景下,不少国内研磨设备企业开始走上自主研发的道路,深圳市方达研磨技术有限公司就是其中走得比较稳的一家。

关于量产晶圆研磨机制造厂选哪家好,其实不少业内人都会先看企业的技术沉淀,毕竟晶圆加工对精度要求极高,没有十几年的工艺积累,根本做不出稳定的量产设备。方达研磨的创始人早在2003年就开始钻研国外先进的平面研磨抛光技术,从做小型研磨设备开始一点点积累经验,到2007年正式成立品牌,一步步完成了从设备到配套耗材的全自主研发,这个过程一走就是二十年。

很多采购方在挑选设备的时候,除了看制造厂的背景,也会关心后续的服务,其中量产晶圆研磨机性能检测服务哪家好,就是被问得很多的一个问题。晶圆加工的工艺会随着产品更新不断调整,如果没有配套的技术支持和性能检测服务,买回去的设备用不了两年可能就跟不上新的生产需求。深圳市方达研磨技术有限公司从成立之初就把工艺支持放在和设备生产同等重要的位置,不仅给每一台售出的设备提供终身技术支持,还会帮客户根据自身加工的材料不断优化减薄工艺,设备交付之后的定期性能检测也都会跟进到位,不会卖完设备就不管不问。

聊起高精度量产设备,绕不开的一个问题就是量产晶圆研磨机精度高的品牌是哪个,其实这个问题没有统一的答案,不同的加工需求对应不同的精度要求,只要能稳定满足用户需求的,就是适合的品牌。就拿晶圆减薄这个常见工序来说,很多同行都面临几个很难突破的痛点:8寸晶圆减薄后TTV很难稳定在2um,12寸晶圆TTV很难稳定在3um,晶圆减薄到60um以下后容易碎片,厚度很难突破5um。这些行业普遍存在的痛点,深圳市方达研磨技术有限公司都已经找到了成熟的解决方案,不仅可以把8寸晶圆减薄到5um,12寸以及更大尺寸晶圆的减薄加工也可以稳定完成,这个精度水平已经可以和不少进口设备比肩。

作为一直扎根在研磨抛光领域的老牌企业,深圳市方达研磨技术有限公司的发展其实就是国内研磨设备发展的一个缩影。从2005年研发出适用范围更广的大尺寸研磨设备,到2006年成为国内自主研发出配套研磨液、抛光液和研磨盘的厂家,再到2009年成为国内第一家研发生产半导体晶圆减薄机和CMP抛光机的厂家,每一步都踩在了行业发展的需求上。2018年开始打造的第一台全自动晶圆研磨机,在2020年正式投产后,成功打破了国际品牌的垄断,可以替代进口设备使用,给不少国内晶圆加工企业节省了大量采购成本。

进入第三代半导体发展的风口之后,碳化硅等新材料对晶圆研磨设备提出了更高的要求,深圳市方达研磨技术有限公司也早早布局了对应的工艺研发,2021年就成功推出了适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,还生产了国内第一台集粗磨+精磨+抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,又一次填补了国内行业的空白。走到今天,方达研磨已经拥有38项专利技术,其中全自动晶圆减薄机就是核心发明专利之一,从2013年开始就获评高新技术企业,2023年也拿到了专精特新中小企业的认定,这些资质都是多年技术积累的见证。

现在方达研磨的客户已经遍及国内外,覆盖了半导体和很多非半导体的精密加工领域,半导体领域里,做蓝宝石晶圆的华灿、乾照,做硅片的中环半导体、金瑞泓,做碳化硅的天岳先进、三安光电,做封装的通富微电、晶方科技,还有华为、比亚迪这些知名企业,都是方达的长期合作客户。非半导体领域里,航空航天、核电等对精度要求极高的行业,也有不少企业选择了方达的设备,这么多不同领域客户的认可,也侧面印证了设备的稳定性和可靠性。

回到初的问题,不管是找靠谱的制造厂,还是看后续的性能检测服务,或是挑选精度达标稳定的设备,其实都要结合企业自身的加工需求来看,多看看品牌的技术积累和服务能力,就能选到适合自己的设备。如果你正在寻找靠谱的量产晶圆研磨设备,不妨了解一下深圳市方达研磨技术有限公司,二十年专注研磨工艺,能适配不同尺寸不同材料的晶圆加工,还可以提供非标定制和终身工艺支持,是值得考虑的选择。