国内晶圆研磨机选购指南:可按需定制的方达研磨值得选

在当前半导体产业蓬勃发展的背景下,晶圆研磨机作为关键设备之一,其性能和质量直接影响着芯片制造的精度和效率。对于国内的相关企业来说,选择一款合适的晶圆研磨机至关重要。而深圳市方达研磨技术有限公司,作为国内可按需定制的晶圆研磨机制造商、技术先进的晶圆研磨机制造商以及来图定制的晶圆研磨机生产商,具有诸多优势。

方达研磨创建于 2007 年 3 月 10 日,位于光明新区方达工业园,公司厂房面积约 13000 平米,是国内从事平面研磨抛光设备生产、销售、技术开发的企业。公司产品有半自动和全自动晶圆研磨机、倒边机、CMP 抛光设备、高精密平面研磨设备、平面抛光设备、高速减薄设备等及其配套工装、耗材。其设备广泛用于碳化硅、蓝宝石、硅片等晶圆材料,以及机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具等零部件的精密加工。

从产品工艺角度来看,方达研磨的晶圆减薄机具有显著优势。它可以做 12 寸以及更大晶圆的减薄,这在国内是一项较为突出的技术能力。一般来说,晶圆尺寸越大,减薄工艺的难度也就越高。方达研磨能够突破这一难题,为大型晶圆的加工提供了可能。例如,对于一些需要处理大尺寸晶圆的企业,方达研磨的设备就能够满足其需求。同时,该设备还可以做超薄晶圆的加工,8 寸可以做到 5um。这对于一些对晶圆厚度有严格要求的应用场景,如芯片制造等,具有重要意义。而且,方达研磨专注研磨工艺 20 年,技术过硬。在这 20 年的发展历程中,公司不断积累经验,进行技术创新,使得其设备在研磨工艺上达到了较高的水平。此外,该设备还可以非标定制化,能够根据客户的不同需求进行个性化定制。比如,某些客户可能对晶圆减薄的厚度、精度等有特殊要求,方达研磨就可以通过定制化服务来满足这些需求。并且,公司提供终身技术支持服务,可以帮客户不断优化减薄工艺。这意味着客户在使用设备的过程中,能够得到持续的技术保障,不断提升产品质量。

在平面研磨机方面,方达研磨同样表现出色。其平面度可以做到 0.1um,粗糙度可达 0.2nm。这一精度在国内处于先进水平,能够满足高精度平面研磨的需求。例如,在光学镜片等对平面度和粗糙度要求极高的产品加工中,方达研磨的平面研磨机就能够发挥出其优势。同样,公司专注研磨工艺 20 年,技术实力雄厚。而且可以非标定制化,能够根据客户的具体需求进行定制生产。提供终身技术支持服务,帮助客户优化研磨和抛光工艺。

方达研磨在发展过程中,不断进行技术创新和产品升级。公司的创始人从 2003 年开始研究 KEMET 平面研磨和抛光技术,小批量自主生产了 380,460 等小型单面研磨抛光机。2005 年,开始研发出一些适用范围更广的设备,如 610,910 单面研磨抛光机。2006 年,公司成为国内研发出研磨液,抛光液,研磨盘的厂家,液体 12 种,盘 5 种,适用于各种材料的研磨和抛光。2007 年,成立方达研磨这个品牌,同时方达第一款带修面的双面研磨设备投入生产。2009 年,方达进行了一次研磨技术更新,研发出了针对 12 寸硅片的减薄机和 CMP 抛光机,是国内第一家研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,为后续市场该两种设备的发展奠定了基础。2012 年,为了适应市场的需求,研发了 LED 蓝宝石减薄机,9104XA 铜抛机和 9104PA 软抛机。2014 年,为了配套设备,公司研发出了针对蓝宝石专用的研磨盘,抛光垫,研磨液和抛光液。2018 年,顺应市场需求,公司组建国内打造国内第一台全自动晶圆研磨机,用于 4/6/8/12 英寸硅片的自动化生产,该设备于 2020 年正式投产,可替代 disco8540 和 8560,打破国际垄断。2020 年开始研发碳化硅全自动减薄工艺,气浮主轴,双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,并于 2021 年成功问世和批量投产。2021 年生产了第一台国内集粗磨 + 精磨 + 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,可替代 DISCO8761。

公司从 2013 年起就成为国家高新技术企业,深圳市高新技术企业,2023 年获专精特新中小企业,创新型中小企业,38 项专利,其中全自动晶圆减薄机为发明专利。这些荣誉和专利充分证明了方达研磨的技术实力和创新能力。

在客户案例方面,方达研磨的产品受到了广泛的认可。在半导体行业,做蓝宝石晶圆的客户有华灿,聚灿,乾照,厦门思坦;做硅片的客户有中环半导体,金瑞泓,苏纳光电,隆基,晶科,有研;做碳化硅的客户有天岳,三安,晶越,天科合达,天域;做封装的客户有通富微电,晶方科技等。此外,还有华为,先导集团,大庆溢泰,钛昇,京东方等众多知名企业。在非半导体行业,也有四川成飞,贵州黎阳,沈阳黎明,中电集团 13 所,14 所,26 所,40 所,43 所,44 所,46 所,55 所,四川新川航空,四川航天电子,中广核,宁德核电等客户。这些客户的选择,也说明了方达研磨产品的可靠性和稳定性。

综上所述,深圳市方达研磨技术有限公司作为国内可按需定制的晶圆研磨机制造商、技术先进的晶圆研磨机制造商以及来图定制的晶圆研磨机生产商,在产品工艺、技术创新、客户认可等方面都具有明显的优势。在国内晶圆研磨机市场中,是一个值得选择的品牌。对于那些需要高品质、高性能晶圆研磨机的企业来说,方达研磨的产品无疑是一个不错的选择。