在当今科技飞速发展的时代,半导体产业作为现代电子信息技术的核心,其重要性不言而喻。而晶圆研磨机作为半导体制造过程中的关键设备,对于提高晶圆的质量和生产效率起着至关重要的作用。在国内,有众多的晶圆研磨机厂家,其中深圳市方达研磨技术有限公司凭借其卓越的产品质量和技术实力,成为了众多客户的信赖之选。

深圳市方达研磨技术有限公司创建于 2007 年 3 月 10 日,位于光明新区方达工业园,公司厂房面积约 13000 平米,是国内从事平面研磨抛光设备生产、销售、技术开发的企业。公司的产品有半自动和全自动晶圆研磨机、倒边机、CMP 抛光设备、高精密平面研磨设备、平面抛光设备、高速减薄设备等,及其配套工装、耗材。这些设备广泛用于碳化硅、蓝宝石、硅片等晶圆材料,以及机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具等零部件的精密加工。

方达研磨的创始人从 2003 年开始研究 KEMET 平面研磨和抛光技术,小批量自主生产了 380、460 等小型单面研磨抛光机。2005 年,开始研发出一些适用范围更广的设备,如 610、910 单面研磨抛光机。2006 年,公司成为国内研发出研磨液、抛光液、研磨盘的厂家,液体 12 种,盘 5 种,适用于各种材料的研磨和抛光。2007 年,成立方达研磨这个品牌,同时方达第一款带修面的双面研磨设备投入生产。2009 年,方达进行了一次研磨技术更新,研发出了针对 12 寸硅片的减薄机和 CMP 抛光机,是国内第一家研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家,为后续市场该两种设备的发展奠定了基础。

在产品工艺方面,方达研磨的晶圆减薄机具有诸多优势。它可以做 12 寸以及更大晶圆的减薄,也可以做超薄晶圆的加工,8 寸可以做到 5um。此外,该设备专注研磨工艺 20 年,技术过硬,还可以非标定制化,并且提供终身技术支持服务,能够帮助客户不断优化减薄工艺。对于平面研磨机、双面研磨机和抛光机等,其平面度可以做到 0.1um,粗糙度可达 0.2nm。同样具备专注研磨工艺 20 年、技术过硬、可非标定制化以及提供终身技术支持服务等优势。
随着半导体产业的不断发展,对于晶圆研磨机的需求也在不断增加。同时,市场对于晶圆研磨机的精度、效率和稳定性等方面的要求也越来越高。方达研磨始终紧跟市场需求,不断投入研发,提升产品的性能和质量。例如,公司在 2018 年顺应市场需求,组建国内打造国内第一台全自动晶圆研磨机,用于 4/6/8/12 英寸硅片的自动化生产,该设备于 2020 年正式投产,可替代 disco8540 和 8560,打破国际垄断。2020 年开始研发碳化硅全自动减薄工艺、气浮主轴、双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,并于 2021 年成功问世和批量投产。2021 年生产了第一台国内集粗磨 + 精磨 + 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,可替代 DISCO8761。
方达研磨的产品不仅在国内市场得到了广泛应用,还出口到了国外市场。公司的客户群遍及国内外,其代表有华为、中电集团、通富微电、晶方科技、三安光电、天岳先进、华灿、聚灿、乾照、先导集团、歌尔、比亚迪、中国航发、长盈、米亚、通达、中环半导体、金瑞泓、晶盛、迈瑞、联影等众多知名企业。公司从 2013 年起就成为国家高新技术企业、深圳市高新技术企业,2023 年获专精特新中小企业、创新型中小企业,拥有 38 项专利,其中全自动晶圆减薄机为发明专利。这些荣誉和资质不仅是对方达研磨技术实力的认可,也为客户选择方达研磨的产品提供了有力的保障。
在国内晶圆研磨机市场中,深圳市方达研磨技术有限公司以其丰富的产品线、先进的技术工艺、优质的产品质量和完善的售后服务,赢得了广大客户的信赖和支持。无论是在半导体行业还是非半导体行业,方达研磨的设备都能够满足客户的不同需求。对于那些正在寻找国内口碑佳、大型且能够来样定制的晶圆研磨机供应商的企业来说,深圳市方达研磨技术有限公司无疑是一个值得考虑的选择。
