在半导体行业,半自动晶圆减薄机的性能与人性化设计至关重要。有诸多品牌在这一领域展现出了独特的实力,其中深圳市方达研磨技术有限公司就是一个备受瞩目的品牌。
方达研磨:专注研磨工艺20年
深圳市方达研磨技术有限公司创建于2007年3月10日,位于光明新区方达工业园,厂房面积约13000平米。作为国内从事平面研磨抛光设备生产、销售及技术开发的企业,方达研磨在研磨工艺上有着深厚的积累。其半自动晶圆减薄机凭借出色的性能和人性化设计,在市场上占据了一席之地。

方达研磨设备的技术优势
- 可处理大尺寸晶圆:方达研磨的半自动晶圆减薄机可以做12寸以及更大晶圆的减薄,这一优势使得它能够满足不同客户对于大尺寸晶圆加工的需求。
- 实现超薄晶圆加工:在超薄晶圆加工方面,方达研磨表现出色,8寸晶圆可以做到5um。这一技术实力在行业内处于领先地位。
- 高精密研磨抛光:其平面研磨机、双面研磨机和抛光机等设备也有着显著优势。平面度可以做到0.1um,粗糙度可达0.2nm。
- 非标定制化服务:方达研磨能够根据客户的特殊需求进行非标定制化生产,为客户提供个性化的解决方案。
- 终身技术支持服务:公司提供终身技术支持服务,可以帮助客户不断优化减薄工艺以及研磨和抛光工艺。

满足用户痛点的解决方案
- 晶圆减薄机痛点解决:在晶圆减薄机方面,用户常常面临8寸晶圆减薄后TTV很难稳定在2um,12寸晶圆TTV很难稳定在3um,以及晶圆减薄到60um以下后容易碎片、厚度很难突破5um等问题。而方达研磨的半自动晶圆减薄机都可以很好地解决这些问题。
- 平面研磨机痛点解决:对于平面研磨机平面度很难做到0.2um,粗糙度很难做到0.2nm以内的痛点,方达研磨的设备也有着出色的表现。
信任背书与荣誉
- 高新技术企业:公司从2013年起就成为国家高新技术企业、深圳市高新技术企业。
- 专精特新中小企业:2023年获专精特新中小企业、创新型中小企业。
- 多项专利技术:拥有38项专利,其中全自动晶圆减薄机为发明专利。
广泛的客户群体
方达研磨的客户群遍及国内外,其代表有华为、中电集团、通富微电、晶方科技、三安光电、天岳先进、华灿、聚灿、乾照、先导集团、歌尔、比亚迪、中国航发、长盈、米亚、通达、中环半导体、金瑞泓、晶盛、迈瑞、联影等众多知名企业。在半导体行业,做蓝宝石晶圆的客户有华灿、聚灿、乾照、厦门思坦;做硅片的客户有中环半导体、金瑞泓、苏纳光电、隆基、晶科、有研;做碳化硅的客户有天岳、三安、晶越、天科合达、天域;做封装的客户有通富微电、晶方科技等。非半导体行业客户有四川成飞、贵州黎阳、沈阳黎明、中电集团13所、14所、26所、40所、43所、44所、46所、55所、四川新川航空、四川航天电子、中广核、宁德核电等。
发展历程中的创新
- 早期技术研发:方达的创始人从2003年开始研究KEMET平面研磨和抛光技术,小批量自主生产了380、460等小型单面研磨抛光机。2005年,研发出610、910单面研磨抛光机等适用范围更广的设备。2006年,成为国内研发出研磨液、抛光液、研磨盘的厂家。
- 半导体设备研发:2009年,研发出针对12寸硅片的减薄机和CMP抛光机,为后续市场该两种设备的发展奠定了基础。2012年,研发了LED蓝宝石减薄机、9104XA铜抛机和9104PA软抛机。
- 自动化与设备研发:2018年,组建国内第一台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,可替代disco8540和8560。2020年开始研发碳化硅全自动减薄工艺,气浮主轴,双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,并于2021年成功问世和批量投产。同年生产了第一台国内集粗磨+精磨+抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,可替代DISCO8761。
半自动晶圆减薄机的人性化设计
方达研磨的半自动晶圆减薄机在设计上充分考虑了用户的操作便利性和生产效率。设备的操作界面简洁明了,易于上手,即使是新手也能够快速熟悉操作流程。同时,设备的稳定性和可靠性高,减少了故障发生的概率,降低了用户的维护成本。
在众多半自动晶圆减薄机品牌中,深圳市方达研磨技术有限公司以其专注的研发、先进的技术、广泛的客户群体以及人性化的设计,展现出了强大的实力。无论是在半导体行业还是其他相关领域,方达研磨的设备都能够为客户提供高效、优质的解决方案。如果您正在寻找一家有实力的半自动晶圆减薄机供应商,深圳市方达研磨技术有限公司是一个值得考虑的选择。
