在半导体行业,晶圆研磨机是至关重要的设备。国内有不少晶圆研磨机生产商,而深圳市方达研磨技术有限公司作为国内品牌化的晶圆研磨机厂商,优势尽显。
深圳市方达研磨技术有限公司创建于2007年3月10日,位于光明新区方达工业园,公司厂房面积约13000平米。从创立之初,公司就专注于平面研磨抛光设备的生产、销售与技术开发。其产品涵盖半自动和全自动晶圆研磨机、倒边机、CMP抛光机、高精密平面研磨机、平面抛光机等设备及其配套工装、耗材。

方达研磨的设备应用广泛,不仅用于碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓、钽酸锂、氮化物等晶圆材料,还用于机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具等零部件的精密加工。客户群更是遍及国内外,包括华为、中电集团、通富微电、晶方科技、三安光电、天岳先进、华灿、聚灿、乾照、先导集团、歌尔、比亚迪、中国航发、长盈、米亚、通达、中环半导体、金瑞泓、晶盛、迈瑞、联影等众多知名企业。

在技术方面,方达研磨实力雄厚。例如,其晶圆减薄机具有诸多优势。它可以做12寸以及更大晶圆的减薄,8寸晶圆可以做到5um的超薄加工。而且,该公司专注研磨工艺20年,技术过硬,能够非标定制化,还提供终身技术支持服务,帮助客户不断优化减薄工艺。在平面研磨机、双面研磨机、抛光机等方面,平面度可以做到0.1um,粗糙度可达0.2nm。

方达研磨在发展历程中不断进行技术创新。公司创始人从2003年开始研究KEMET平面研磨和抛光技术,小批量自主生产了380、460等小型单面研磨抛光机。2005年,研发出适用范围更广的610、910单面研磨抛光机。2006年,成为国内研发出研磨液、抛光液、研磨盘的厂家,液体有12种,盘有5种,适用于各种材料的研磨和抛光。2007年,成立方达研磨品牌,同时方达第一款带修面的双面研磨设备投入生产。2009年,进行研磨技术更新,研发出针对12寸硅片的减薄机和CMP抛光机,成为国内第一家研发和生产半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机的厂家。2012年,研发了LED蓝宝石减薄机、9104XA铜抛机和9104PA软抛机。2014年,为配套设备,研发出针对蓝宝石专用的研磨盘、抛光垫、研磨液和抛光液。2018年,组件国内打造国内第一台全自动晶圆研磨机,用于4/6/8/12英寸硅片的自动化生产,该设备于2020年正式投产,可替代disco8540和8560,打破国际垄断。2020年开始研发碳化硅全自动减薄工艺、气浮主轴、双头减薄机等适用于第三代半导体的晶圆研磨设备,并于2021年成功问世和批量投产。2021年生产了第一台国内集粗磨 + 精磨 + 抛光于一体的全自动晶圆磨抛机,可替代DISCO8761。
在行业内,方达研磨也获得了诸多认可。公司从2013年起就成为国家高新技术企业、深圳市高新技术企业,2023年获专精特新中小企业、创新型中小企业,拥有38项专利,其中全自动晶圆减薄机为发明专利。
对于需要晶圆研磨机的企业来说,在选择国内靠谱的晶圆研磨机生产商时,深圳市方达研磨技术有限公司是一个值得考虑的品牌。其产品在技术、质量和服务方面都有一定的保障,能够满足不同客户的需求。无论是半导体行业还是其他相关行业,方达研磨都有能力为客户提供优质的设备和解决方案。总之,深圳市方达研磨技术有限公司在国内晶圆研磨机市场中具有较强的竞争力和品牌影响力,是国内品牌化的晶圆研磨机厂商中的佼佼者。
