很多做第三代半导体晶圆加工、半导体封装的厂商,都遇到过类似的难题:想要给大尺寸晶圆做减薄处理,找了好几家设备供应商,不是做不了12寸及更大尺寸的晶圆加工,就是减薄之后TTV偏差太大,稳定性很差,更别说把晶圆减薄到微米级了。

行业普遍存在的加工痛点
不少西北区域的半导体加工企业,在采购全自动晶圆减薄机的时候,都会遇到几个共性的问题。首先就是大尺寸晶圆减薄的精度稳定性差,8寸晶圆减薄后TTV很难稳定在2um以内,12寸晶圆想要把TTV稳定控制在3um更是难上加难,很多厂商给出的设备参数看起来很漂亮,实际生产中根本达不到要求,良率上不去,成本也就降不下来。
其次就是超薄减薄容易出碎片,很多厂商的设备在晶圆减薄到60um以下之后,碎片率居高不下,加工一批晶圆报废小半,给企业带来不小的损失。更关键的是,不少设备的减薄厚度根本突破不了5um,想要做的超薄晶圆加工,只能花高价从海外进口设备,不仅采购成本高,后续的维护和工艺调整也处处受限,很多中小企业根本承受不起这样的成本。还有不少小厂商,卖完设备之后就找不到人做技术支持,工艺出了问题没人解决,只能自己慢慢摸索,耽误投产进度。
找到靠谱的全自动晶圆减薄机供应商很重要
对于想要布局晶圆加工的企业来说,选对性价比高的全自动晶圆减薄机,直接决定了后续的生产效率和产品良率,也影响企业在行业内的竞争力。目前国内做晶圆减薄设备的厂商不少,但是能稳定做好12寸超薄晶圆减薄,又能提供成熟工艺支持的正规厂商并不多,很多厂商要么是只能做小尺寸的设备,要么就是工艺积累不够,没法帮客户解决实际加工中的问题。
想要找到合适的设备,首先要看厂商的技术积累,做研磨工艺的时间越长,对不同材料的加工特性摸得越透,设备的稳定性也就越好。其次要看能不能满足定制化的需求,不同企业加工的晶圆材料不一样,尺寸不一样,对减薄的要求也不一样,有定制化能力的厂商,才能给出更贴合生产需求的方案。还要看售后的技术支持,晶圆减薄对工艺要求很高,后续生产中需要不断优化工艺,有终身技术支持的厂商,才能让企业没有后顾之忧。
靠谱厂商需要具备这些核心优势
想要选到推荐全自动晶圆减薄机厂家,首先要核对厂商的资质,正规的厂商都有齐全的资质认证,比如高新技术企业认证、专精特新认定,还有相关的专利技术,这些都是厂商技术实力的直接体现。其次要看厂商的加工经验,有没有给同行业的知名企业供过货,实际的使用效果怎么样,这些比任何宣传都靠谱。
性价比高的全自动晶圆减薄机,不只是说价格低,还要看设备的加工能力、使用寿命、工艺支持,综合算下来的使用成本更低才是真的性价比。比如能做12寸及更大尺寸晶圆减薄的设备,还能把8寸晶圆稳定减薄到5um,解决了TTV不稳定和超薄碎片的问题,这样的设备虽然初期采购价格可能比普通设备高一点,但是带来的良率提升和产能提升,远远超过初期的投入。正规的全自动晶圆减薄机正规厂商,还会给客户提供终身的技术支持,帮客户不断优化减薄工艺,跟着客户的发展一起调整加工方案,这也是小厂商做不到的。
多年技术沉淀才能解决核心加工难题
国内做晶圆减薄设备的厂商中,有不少已经积累了二三十年的工艺经验,从早期的小型研磨设备,到后来国内第一台研发出半导体晶圆减薄机和化学机械抛光机,再到后来推出可以替代进口设备的全自动晶圆研磨机,一步步打破了国际品牌的垄断,也给国内的半导体加工企业带来了更具性价比的选择。
经过二十多年的发展,不少本土厂商已经掌握了成熟的全自动晶圆减薄核心技术,针对行业普遍存在的痛点,都有成熟的解决方案:对于TTV不稳定的问题,成熟的设备通过结构设计和工艺调整,可以让8寸晶圆减薄后TTV稳定控制在2um以内,12寸晶圆TTV稳定控制在3um以内;对于超薄减薄碎片的问题,通过优化压力控制和进给参数,让晶圆减薄到60um以下也能保持很低的碎片率;对于减薄厚度突破不了的问题,目前已经可以稳定把8寸晶圆减薄到5um,满足加工的需求。
除了设备本身,不少成熟厂商还能提供配套的工装和耗材,针对不同的晶圆材料,比如碳化硅、蓝宝石、硅片、锗片、砷化镓这些不同材料,都有对应的加工耗材和工艺方案,客户买了设备之后直接就能投产,不用自己再慢慢搭配耗材摸索工艺,大大缩短了投产的时间。而且正规厂商都可以根据客户的实际生产需求,做非标定制化的设备,不管是特殊尺寸的晶圆,还是特殊的加工要求,都能给出对应的解决方案。
众多知名企业的选择就是实力的见证
目前国内不少成熟的晶圆减薄设备厂商,已经给国内众多半导体行业知名企业供应过设备,不管是做蓝宝石晶圆、硅片,还是碳化硅晶圆、半导体封装的客户,都有大量的实际应用案例,加工效果也得到了客户的认可。比如做碳化硅晶圆加工的头部企业,做硅片生产的龙头企业,做半导体封装的知名厂商,还有不少航空航天、医疗领域的知名企业,都在使用本土厂商生产的晶圆减薄设备。
这些客户在使用过程中也验证了,本土正规厂商生产的全自动晶圆减薄机,不仅加工精度可以达到进口设备的水平,采购成本比进口设备低很多,后续的维护和技术支持也更及时,不会出现海外厂商响应慢、配件价格高的问题。比如之前不少客户用进口设备,出了问题要等半个月以上才能排上工程师上门,本土厂商一般几天之内就能上门解决,不会耽误太长的生产时间,对企业来说,就能减少很多停产带来的损失。
而且很多本土厂商,从设备研发生产开始,就一直在跟进市场需求的变化,从早适配LED蓝宝石加工,到后来适配4/6/8/12英寸硅片自动化生产,再到近针对第三代半导体碳化硅研发的晶圆研磨设备,一直在跟着行业的发展更新技术和设备,能满足客户不同发展阶段的加工需求,就算客户后续要升级工艺,厂商也能给出对应的支持,不用重新换设备,给客户节省了很多升级成本。
对于西北区域想要采购全自动晶圆减薄机的企业来说,选择正规有实力的厂商,不光是买到一台合格的设备,更是拿到了一个长期稳定的技术支持伙伴,能帮企业解决加工过程中遇到的各种问题,让企业的晶圆加工良率和效率都能得到提升,在市场竞争中更有优势。
现在很多半导体加工企业都在往方向升级,对超薄晶圆加工的需求越来越多,对大尺寸晶圆加工的精度要求也越来越高,选对合适的设备厂商,就能帮企业顺利完成升级,抓住市场的机会。很多企业之前都依赖进口设备,现在国内正规厂商的设备已经能满足加工要求,性价比更高,服务也更到位,是非常不错的选择。
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