应用范围：

本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、碳化硅、锗片以及其他半导体材料的单面精密研磨。

设备原理及特点：

1、本设备为单面精密研磨设备,采用先进的机械结构和多种先进控制方法,研磨加工效率高，运行稳定。

2、整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统运行稳定性高。

3、主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击,减少工件损伤。

4、工件研磨压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证极高的施压精度与稳定性。

5、上压盘采用主动驱动方式,在确保产品研磨速率的前提下保证各工位研磨加工的统一性。

6、研磨盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证研磨液发挥最大效率的同时减少研磨盘面的变形。

7、设备自带盘面修整机,盘面修整后可保证0.01mm的盘面平整度。

主要技术参数：

型号               FD-7104XA               FD-8104XA                  FD-9104XA

磨盘规格         700x250x12mm        810x255x12mm           910x250x12mm

陶瓷盘直径      240~260mm            305mm                       360mm

主电机功率      5.5KW/380V             7.5KW/380V                7.5KW/380V

压盘电机功率   0.4KW/380Vx4         0.4KW/380Vx4             0.4KW/380Vx4

修整电机功率    0.2KW/380V            0.2KW/380V               0.2KW/380V

主电机转速      10-100rpm(max)       5-90rpm(max)            5-90rpm(max)

设备工位数     4个                            4个                           4个

修盘方式       自动修盘机                  自动修盘机                自动修盘机

设备规格       1050x1950x2300mm    1200x2200x2500mm   1200x1800x2300mm

设备重量        2100KG                      2350KG                      2500KG